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光刻机从外头看上去就是一个铁皮箱子,仅有的一个观察窗,在真正进行光刻作业的时候,也看不到任何东西。
郝莽也只能在光刻机工作的时候,听到几声类似于手机摄像头打开时的杂音。
范红才耳朵几乎贴在了光刻机上,像是古代的医生进行着原始听诊一般。
“滋——”他的耳朵里听到了电流的杂音。
“这台机器使用的是紫外光源,光源用的是冷阴极低压汞灯。电流音听起来好像是直流管……”
随后,响起了光学模组矫正归位的“咔咔”声。
“一、二、三、四、五……至少有五组光学镜足,每组镜组应该至少有两枚镜片,镜片排列应该是尽可能追求对称的光路……”
接下来听到的声音,就是托着晶圆的托盘电机在工作的声音了,光源和镜头模组的声音,反倒是稳定了下来。
范红才支起来身,他这时才感觉到自己的老腰有些酸疼。
他没有着急下判断,而是等着光刻机工作完成,被加工的晶圆进入清洗和掺杂的工序,他才开口说道。
“这是一台使用紫外光源,对称光路的光刻机。用纯紫外光是因为自然光含有光谱波长不同,最后对晶圆上的光刻胶进行投影的时候,会加大误差。选择紫外光而不是其它波长的光,是因为紫外光含有的能量是所有光中最大的。”
“镜头模组采用的对称设计,如果我没有听错的话,每组的镜片至少有两个,尽可能增让紫外光聚焦的同时,又尽量让它们保持平行,不会产生过多的折射和散射,造成能量的浪费和光刻精度的降低。”
他抿着嘴思考了一下,“这台光刻机从这两个光学模块来说,我认为确实有机会达到一微米的光刻精度。”
他看向张铁心,“你觉得粗糙的地方在哪里呢?”
张铁心视线也从光刻机上收回来,他说道,“这台光刻机所使用的光源我拆下来过,确实是汞灯没错,但是与我见过的汞灯相比,这台机器里的汞灯,只能用粗制滥造来形容。”
他也知道范红才没有拆过光刻机,不能光凭里头的部件说事,他说道,“除此之外,光学模组之间好像只有空气。我虽然在光学领域不专业,但是我想空气中的成分比较多也比较复杂,光在不同的介质中传播,应该也会产生一些偏差。”
他的手指在模仿光穿过不同介质时光路的模样,他说道,“如果能想办法填充单一气体或者抽真空,光刻机的精度是不是就能进一步提升?”
范红才说道,“你说得是没错,最近最先进的光刻机论文,就有探讨这条技术路线。我也怀疑今年他们能在这么短的时间里,将光刻机从一微米的精度提升到零点八微米,改进方案用的就是填充气体。不过,填充哪种气体,压力如何,这些都需要仔仔细细地研究一番。”
范红才这时忽然问道,“郝厂长不知道您对于提高光刻机精度这件事情有什么看法么?”
“我?”郝莽指了指自己,眼前这个光刻机,他只知道怎么让它工作,原理可是一点都不懂,不过他看短视频的时候,偶尔也刷过一些有关于光刻机的视频,虽说只是不明觉厉听个热闹,但是复述一下难度却不大。
他皱着眉头回忆了一下说道,“要我看的话,散热系统至关重要。”
范红才思考了一下认同道,“确实,不管镜片使用什么材质制作,不同温度下一定会产生不同程度的形变,
制程精度要求没有那么严格的时候无伤大雅,但随着精度要求越来越高,若是散热系统不能很好的控制镜片的温度,生产出来的芯片良率一定大大下降。”
他抬起头,虽然没有开口,但是眼神明显是在询问,“还有呢?”
“还有的话,”郝莽思索了一下,“镜片也要足够的光滑,我听葵司他们说,他们在光刻机里使用的镜片,苍蝇都站不上去。这台机器你可以拆下来看一下,我觉它的镜片应该一般。”
“除此之外的话,”郝莽隐隐约约觉得有一个关键点没说,他想了半天终于想到了,“刚才铁心老师说镜头组之间可以抽真空或者是填充单类气体。气体和真空都行,那……往里头填液体行么?光也能在液体里传播吧。”
“液体……液体……液体……”范红才重复了三遍,他突然说道,“没错!液体比单一气体和真空都要更合适。既方便找到更适合高精度光刻的溶液,比热容又更大,更加利于散热,的确是一套新思路!”
他越想越激动,他先是看着郝莽,后是看着光刻机,他忽然朝着张铁心说道,“老铁,你找的这个工厂不错,我觉得这里的篝火能继续燃烧下去。”
他转头对郝莽说道,“郝厂长,您能聘用我在你这里工作么?”
“能,当然能。”郝莽答道。
范红才开口后,那些观望的技术人员也纷纷开口。
郝莽都一一答应之后,范红才才问道,“我们留在这里,需要做些什么呢?”
郝莽直接说道,“赚钱,利用这里的设备,想方设法制造出可能赚钱的新产品。在厂子总体上能赚钱的情况下,你们可以适当的进行一些自己感兴趣的研究,不过如果厂子的经营状况出现了问题,这些研究可能会被停止。”
范红才说道,“赚钱的项目指的不是造雪糕或者是煮茶叶蛋吧,我们上街卖面条可不一定比面粉厂卖得好。”
郝莽听到范红才的话笑了,“雪糕和茶叶蛋能卖几个钱?大家刚才也都看到了生产线上正在生产的游戏机,这些游戏机一台的利润,一个人卖茶叶蛋三个月都赚不回来。而我这里现在每天能生产一万两千台游戏机,相当于超过一百万人卖茶叶蛋一天的收入,全国有一百万人卖茶叶蛋么?没有吧。”
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